半導體金屬化製程

半導體金屬化製程

做為抑制金屬材料與半導體材料彼此間交互擴散的阻障金屬 .... 在於金屬鋁的沉積製程中,也就是用以濺擊的金屬 ... 在具高積集度的積體電路的金屬化製程上 ...

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    昇陽國際半導體股份有限公司
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    第二十三章 半導體製造概 - 921&88數位典藏|921&88 ...
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