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準分子雷射加工

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以ArF 準分子雷射加工單晶矽表面之研究

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準分子雷射 - 維基百科，自由的百科全書

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準分子雷射微加工技術 Excimer Laser Micromachining Technology 簡介準分子雷射微加工是運用紫外波段的短波長脈衝雷射，將高分子材料內部電子激發...

準分子雷射微加工技術 Excimer Laser Micromachining Technology ...

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所謂準分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介質中，使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線（UV）雷射，具代表性的例子有ArF準分子雷射（波長193nm）、KrF準分子...

2. 何謂準分子雷射 | Welcome to Gigaphoton

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六、準分子雷射加工系統: 準分子雷射的加工流程為先決定工件的尺寸規格與幾何圖形，再由工件材料決定雷射光束的縮小倍率與能量密度，並製作光罩，最後才進行加工。準分子雷射的加工技術包括雷...

準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的 ...

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