雙晶變形

摘 要 氮化鎵發光二極體晶圓在磊晶製程,因為薄膜與基材間的晶格不匹配,造成本質應力。製程中溫度變化產生的熱應力也會形成薄膜殘留應力,使基板彎曲變形。過大的殘留應力使得薄膜品質不穩定,甚至破裂或皺摺而脫落,高品質的磊晶製程需要 ...

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