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arf準分子雷射

所謂準分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介質中，使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線（UV）雷射，具代表性的例子有ArF準分子雷射（波長193nm）、KrF準分子雷射(波長248nm)、XeCl準分子雷射（波長308nm）、XeF準分子雷射（波長351nm）。

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arf準分子雷射相關資訊

所謂準分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介質中，使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線（UV）雷射，具代表性的例子有ArF準分子雷射（波長193nm）、KrF準分子...

2. 何謂準分子雷射 | Welcome to Gigaphoton

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準分子雷射（英文：Excimer laser）是一種紫外氣態雷射，處於激發態的稀有氣體和另一種氣體（稀有氣體或鹵素）結合的混合氣體形成的分子，向其基態躍遷時發射所產生的雷射，稱為...

準分子雷射 - 維基百科，自由的百科全書

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中國機械工程學會第二十一屆全國學術研討會論文集中華民國九十三年十一月二十六日、二十七日國立中山大學高雄‧臺灣以ArF 準分子雷射加工單晶矽表面之研究王丕維1、劉益銘1、陳...

以ArF 準分子雷射加工單晶矽表面之研究

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一、準分子雷射的基本概念: 準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的後半部組合而成的。準分子雷射的工作物質是準分子氣體。一般的氣體分子，他...

準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的 ...

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準分子雷射器：比如KrF（248 nm）、XeF（351-353 nm）、ArF（193 nm）、XeCl（308 nm）、F2（157 nm，均為紫外線) ... 準分子雷射原...

雷射 - 維基百科，自由的百科全書

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準分子雷射的發展與應用，是一典型的異業合作範例。光蝕刻是一種電子業的薄型原件加工技術。利用雷射光，可以在物料上面進行細致的刻蝕。1980年代，IBM工程師Srinivasan正在研...

眼睛的科學: 什麼是準分子雷射?(What is Excimer Laser?)

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急~準分子雷射加工原理.詳細介紹!要做報告東西越多越好! 東西越多越好!! 急做報告!! 感恩首頁信箱新聞股市名人娛樂 ... ArF 193 KrCl 222 Kr...

急~準分子雷射加工原理.詳細介紹!要做報告東西!20點 | Yahoo奇 ...

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驅物 (Precursor)，可在大氣環境下進行。雷射部分採用波長193 nm 之ArF 準分子雷射。製作之碳膜以拉曼光譜儀分析結構，並以原子力顯微鏡(Atomic force ...

準分子雷射鍍製碳膜

http://ir.niu.edu.tw
Gigaphoton發布最新型ArF準分子雷射器GT65A (中央社訊息服務20170222 09:21:13)同時實現最先進的液浸曝光處理的細微化支援和減少對環境的影響，計劃於2...

Gigaphoton發布最新型ArF準分子雷射器GT65A | 中央社訊息平台

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