krf準分子雷射

準分子雷射(英文:Excimer laser)是一種紫外氣態雷射,處於激發態的稀有氣體和另一種氣體(稀有氣體或鹵素)結合的混合氣體形成的分子,向其基態 躍遷時發射所產生的雷射,稱為準分子雷射。 準分子雷射屬於低能量雷射,無熱效應,是方向性強 ...

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    準分子雷射 - 維基百科,自由的百科全書
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  • 所謂準分子雷射(Excimer Laser),是指在雷射的介質中,使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線(UV)雷射,具代表性的例子有ArF準分子雷射(波長193nm)、KrF準分子...
    2. 何謂準分子雷射 | Welcome to Gigaphoton
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  • 如圖(一)所示,KrF是在激發態的分子,它的位能曲線有一極小值,表示中間有一平衡點,所以是分子。 在X2(低能階,乃是受溫度激發而成,分子結合甚弱,其量甚少,因此只要激發到激發態,...
    準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的 ...
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  • 準分子雷射 光罩接觸加工示意圖 圖(六) 准分子雷射光罩接觸加工示意圖 2. 光束傳遞系統 ... 等等.而本系統微加工刻除製作技術之橫向解析度小於4μm,縱深解析度為0.05μm...
    (五)准分子雷射對幫浦源的要求:
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  • 去曾有許多學者利用KrF(248 nm)準分子雷射 以能量 密度1.4 J/cm2照射在單晶矽表面,進而分析材料表面 物性之改變情形[4-6],其結論為:當矽晶受到雷射脈 衝照射時...
    以ArF 準分子雷射加工單晶矽表面之研究
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  • 我們利用雷射分子束磊晶的方法,雷射光源為KrF準分子雷射,波長248nm。成功的在c切面的氧化鋁基板上成長出具有高度c軸取向的氧化鋅薄膜,在最佳條件下氧化鋅(002)面的XRD半高...
    國立交通大學機構典藏:利用脈衝雷射分子束磊晶之氧化鋅薄膜的成 ...
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  • 本論文以有機金屬裂解法(MOD)鍍製鋯鈦酸鉛(PbZr0.52Ti0.48O3)薄膜,利用KrF準分子雷射臨場(in-situ)退火,並輔以與薄膜同組成之PZT奈米微粉之添加,造成...
    KrF準分子雷射臨場退火製備PZT薄膜與奈米微粉添加影響之研究__國 ...
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  • 準分子雷射加工機器,準分子雷射機器,Optec,雷射微加工機,冷光雷射,uv雷射加工,UV laser,193nm,248nm 首頁 簡體 網站導覽 訂閱電子報 會員中心 型錄下載...
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  • 準分子雷射器:比如KrF(248 nm)、XeF(351-353 nm)、ArF(193 nm)、XeCl(308 nm)、F2(157 nm,均為紫外線) ... 準分子雷射 原...
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