oes光譜

本文討論光放射光譜(Optical Emission Spectroscopy; OES)之原理和電漿製程監測之應用。OES技術為一種非侵入式量測,適合電漿之診斷。藉由收光器將電漿內受激原子、離子、分子之放光訊號聚焦到光纖頭,然後將光由光纖導入光譜儀中,由光譜儀分析電漿放光 ...

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