rca clean清洗流程

弘塑提供湿式机台于光电产业,主要应用于砷化镓蚀刻,PSS 制程的磷酸蚀刻,标准的RCA 清洗与 ... Mask clean光罩清洗机目前主要产品应用于清洗9吋及14吋光罩,清洗方式为利用旋转光罩配合高压水、毛刷清洗或是化学品喷洒于光罩上去除沾黏的光阻。

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