wafer acceptance test introduction

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晶圓接受測試(Wafer Acceptance Test)是在晶圓完成製程前,能否從晶圓廠出貨到下一流程的依據.主要是測試擺在晶圓切割道(Scribe Line)上的測試鍵(Testkey),測試鍵通常設計有許多元件, 如: NMOS及PMOS電晶體,電容, 電阻, N 及Pcontact,Poly contact, Metal line ...

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