真空泵浦種類

不論為何種形狀構造或何種抽氣原理,均稱為真空幫浦. 2. 真空幫浦的分類 ..... 離子幫浦的最終壓力受幫浦的構造及所抽氣體的種類. 所限制. 在真空度接近超高真空 ...

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