真空幫浦半導體

真空幫浦的動作原理? 它是如何抽放氣? 如何感測壓力大小? 到達既定的真空度後壓力若再變化他會自動抽放氣嗎? 如何控制抽放氣動作? 動作原理跟空壓機是否ㄧ樣?

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