ph3半導體

半導體製程特殊氣體之爆炸範圍 二、自燃性氣體 有些氣體一與空氣相混,即使沒有火源也會自然起火,此稱為自燃性氣體 ,一般其起火點在常溫以下,而自燃性的特殊氣體包括:SiH4 、PH3 、 B2 H6 。

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