rca標準清洗流程

合格與否的標準 及數據的收集和一些特別的測 試後,做晶圓分類。薄膜 研磨 擴散 黃光 蝕刻 ... 留下水痕。下列提出相對應的清洗方式與一般 的清洗流程 。洗淨步驟 洗淨物質 SPM(Piranha) 有機物、金屬 DIW(超純水) 沖洗 DHF(稀釋氫氟酸) 原生氧化物 ...

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