rca標準清洗流程
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圖1. 常壓thermal CVD 成長系統 膜的表面形態。TEM 與Raman 分別委託雲科大與中興大學 貴儀中心分析。 本研究先將4 吋矽晶片取出，切割成1 cm2 面積大小的...Synthesis of Carbon Nanotubes over Sol-Gel Deposited ...http://nano.dyu.edu.tw
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