xps縱深分析

2012年1月13日 - XPS 窄範圍能譜細部掃瞄(narrow scan). 試片表面構成元素的鍵結狀態(含chemical shift)之定性與定量分析. 3. XPS 縱深分析. 使用離子轟擊量測試 ...

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  • 為應用在發展奈米科技上,更朝向高解析度(縱深影像能量質量… ... 化學分析電子能譜儀(ESCA又名XPS)、掃瞄式電子顯微鏡(SEM) 、二次離子質譜儀(SIMS). AFM.
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  • 包括基本儀器架構、定性與定量分析、化學位移分析、伴峰種類與辨別以及縱深分析等。 ... XPS. ○. 化學狀態. Chemical State. ○. 伴峰. Sateline....
    [PDF] 表面化學分析技術
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