低真空

不同的製程需求,需要用到不同的真空度,如何選擇正確的真空計是最基本、但亟具重要性的工作。在低真空領域的應用,部分製程需要較低的真空度,例如:蝕刻或CVD等製程應用,除了要能正確判讀出系統真空度、確保製程品質外,另外不同真空計也 ...

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