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準分子雷射退火

雷射退火 Technical Paper 最新消息最新消息活動資訊勝利專訪求才資訊 Overview 2. 何謂準分子雷射所謂準分子雷射（Excimer Laser），是指在雷射的介質中，使用稀有氣體和鹵素等混合氣體的紫外線（UV）雷射，具代表性的例子有ArF準分子雷射（波長 ...

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2. 何謂準分子雷射 | Welcome to Gigaphoton

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本論文以有機金屬裂解法（MOD）鍍製鋯鈦酸鉛(PbZr0.52Ti0.48O3)薄膜，利用KrF準分子雷射臨場（in-situ）退火，並輔以與薄膜同組成之PZT奈米微粉之添加，造成...

KrF準分子雷射臨場退火製備PZT薄膜與奈米微粉添加影響之研究__國 ...

http://140.113.39.130
2.在polyimide 軟性基板上，利用準分子雷射退火非晶矽氫(a-Si:H) ，製做出370 cm2/V-sec高載子移動率的poly-Si 低溫多晶矽薄膜電晶體。 3. 利用...

NTU GIEE｜國立臺灣大學電子工程學研究所

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準分子雷射退火經常被運用於製作低溫多晶矽膜。由於準分子雷射退火期間之相變化過程將影響多晶矽之晶粒大小與結晶品質，為了解析準分子雷射退火期間之相變化過程，本研究建構一套即時原位時間解...

低溫多晶矽膜之凝固速率研究：材料世界網

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Abstract [[abstract]]本研究係利用氬氟ArF (波長193nm)以及氪氟KrF (波長248nm)準分子雷射，研究準分子雷射退火(ELA；Excimer LAS...

利用準分子雷射退火於多晶矽薄膜之製程研究及其特性

https://core.ac.uk
近幾年在軟性微電子元件科技發展過程中，以沉積氧化銦錫薄膜於高分子基材之技術引起了最多的研究興趣與關注。因此，發展一個新穎的後退火技術用以改善氧化銦錫薄膜之特性同時不破壞高分子基板，...

國立交通大學機構典藏：以準分子雷射退火改善於高分子基板上之氧 ...

https://ir.nctu.edu.tw
在工業加工方面也可應用於材料的鑽孔、標記、細電線的剝線及各種表面處理，包括退火、清潔、摻雜、雷射 ... 準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dim...

準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的 ...

http://ykuo.ncue.edu.tw
準分子雷射退火。紫外光準分子雷射問市以來，普遍用於近視矯正 (LASIK)，近年來更在多項工業用途中發現它的身影如光通訊元件製造 (FBG)、半導體晶片蝕刻 (Etching)。找...

準分子雷射退火 - DeeFeed

http://deefeed.com
以準分子雷射製造大晶粒低溫多矽膜設備開發--- 總計畫其他題名: Research and Development of Excimer Laser Annealing Syst...

臺灣科技大學機構典藏 NTUSTR:Item 9876543211722

http://ir.lib.ntust.edu.tw
在目前製作低溫多晶矽薄膜電晶體(LTPS-TFT)元件當中，多晶矽薄膜的製作技術以準分子雷射退火最為廣泛的使用。準分子雷射退火所形成多晶矽薄膜，應用在薄膜電晶體液晶顯示器上具有非常...

高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用：材料世界網

http://www.materialsnet.com.tw

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