真空系統的管路設計

真空系統的管路設計

設施真空系統 概說 設施工程所採用之真空系統 製程真空~不作為直接對製程機台提供真空環境,作為製程機台真空設備之末端抽氣或產生粗略真空(如供真空吸筆用) 潔淨集塵系統~屬於負壓型的集塵系統,真空度僅為粗略真空,操作壓力介於排氣系統與製 ...

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    半導體與光電廠務設施 - 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系
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  • 如題 條件1.腔體容積約20L(包含管路) 條件2.需在3~5秒內將腔体由760Torr抽到1Torr 條件3.腔體溫度約175 。 條件4.整個系統空間最好在L 530mm*W ...
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  • 所以在設計真空系統時,對 於真空元件氣的計算必須依操作壓力範圍之不同而分別 ... 五、真空系統的氣體負荷(Gas load) 1.定義:真空系統的目的,是要造就一個壓力低、氣體分...
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  • 凡是运行在标准大气压以下的管道为负压管道,均称作真空管道。真空管道栏目主要讲述了真空管道的设计,真空流导的计算等方面的知识。
    真空管道_真空管道设计_流导 - 真空技术网 - 专业研究真空技术及 ...
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  • 真空设备的上游管路和下游管路的最佳设计可以增加设备效率和减少维护次数。同时也可以减少真空损失和压降,利用吸程提高能源效率和降低水浸设备或关闭系统的风险。
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