蝕刻選擇比定義

4 蝕刻的定義 ‧從晶圓表面移除材料的技術 ‧化學的、物理的、或兩者並用 ‧選擇性的區域或整面全區蝕刻 ‧選擇性的蝕刻將光阻上的設計圖案轉移至晶 圓表面

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